글로벌 산업 자동화 솔루션 전문기업 한국훼스토가 ‘세미콘 코리아 2024(SEMICON Korea 2024)’에 참가해 반도체 생산 자동화를 위한 토털 솔루션을 선보일 것이라고 밝혔다. 세미콘 코리아 2024는 국내외 반도체 재표 및 장비 업체들이 참여하는 전시회로, 1월 31일부터 2월 2일까지 사흘간 서울 삼성동 코엑스 전시관에서 개최된다. 한국훼스토는 ‘Unlock Innovation, Empower Productivity’라는 슬로건을 내걸고, 반도체 생산의 자동화와 생산성 제고를 가능케 하는 다양한 솔루션을 대거 선보일 예정이다. 특히, 이노베이션 존(Innovation Zone), 디지털화 존(Digitalization Zone), 지속가능성 존(Sustainability Zone)으로 부스 공간을 구성해, 반도체 솔루션 외에도 AI를 통한 예지보전 솔루션, 지속가능한 생산을 위한 노력 등 미래를 대비하는 훼스토의 오늘에 대해서도 풍성한 콘텐츠를 준비하겠다는 계획이다. 그 중 이노베이션 존은 피에조(Piezo) 공압 제어 기술을 집약한 웨이퍼 핸들링 솔루션을 비롯해 정밀한 N2 유량 제어를 가능케 하는 N2 퍼지(N2 Purge), 공정 순도 및
기후변화 억제에 관한 다자간 국제협정으로 2015년 파리협정(COP21)이 채택된 이후 유엔의 지속가능한 개발 목표인 ‘SDGs’에서도 에너지 관련 항목이 선정됐다. 일본에서는 온실효과 가스 배출량을 2030년까지 26% 감축(2013년도 대비)하는 중기 목표를 세우고 있다. 이처럼 환경 문제가 주목을 받으면서 기업들은 에너지 절약 대책을 추진하게 됐다. 태양광 발전과 같은 재생가능 에너지를 도입해 전기의 에너지 절약은 충분히 대책이 되어 있는 한편, 열의 에너지 절약은 도입 비용이나 비용 대비 효과가 불투명해서 대책이 불충분한 경우가 있다. 산업 부문의 용도별 에너지 소비량에서는 전체의 56%를 열에너지가 차지하고 있어 열의 에너지 절약을 추진함으로써 에너지 절약 효과를 더욱 기대할 수 있다. 한편, 공장에서 열에너지는 보일러 설비에서 공급되는 증기가 일반적이다. 공장 내 증기 흐름의 한 예를 그림 1에 나타냈다. 보일러에서 만들어진 증기가 헤더를 통과해 반송 배관에서 각 건물로 분배된다. 배관 중간에는 증기가 식어서 액체로 되돌아온 드레인 물이 체류하기 때문에 스팀 트랩을 설치해 배관 내의 드레인 물을 배출하고 있다. 건물 내의 설비 근처까지 운반되어 온